| Titre : |
Conception et réalisation d'un filtre de Fabry-Perot intégré sur un micro-banc optique en silicium |
| Type de document : |
thèse |
| Auteurs : |
Emmanuelle PICHONAT-GALLOIS ; M. de LABACHELERIE, Directeur de thèse ; Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs (LPMO) UPR CNRS 3203 Besançon, Commanditaire ; F. LOZES, Rapporteur ; D. BARBIER, Rapporteur ; D. HAUDEN, Examinateur ; J. BERTHON, Examinateur ; S. BASROUR, Examinateur ; M. de LABACHELERIE, Examinateur |
| Importance : |
200 p. |
| Note générale : |
Table des matières
Introduction générale
Conclusion générale et perspectives
Annexes |
| Catégories : |
Éléments finis, Méthode des
Fabry-Pérot, Interféromètres de
Modèles mathématiques
Optique
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| Index. décimale : |
TH-02 |
| Résumé : |
ETAT DE L'ART ET BUT DE L'ETUDE
Les microtechnologies et les MOEMS
Etat de l'art : les actionneurs thermiques
Les micro-interféromètres de Fabry-Perot
Les principales applications d'un interféromètre de Fabry-Perot
Objectif de la thèse
CONCEPTION DES FILTRES
Rappels d'optique
L'optique de couplage
Conception retenue
Architecture retenue
ACTIONNEMENT THERMIQUE
Choix du mode d'actionnement
Première estimation du déplacement d'un actionneur
Modèle théorique à partir de l'équation de chaleur
Simulation par éléments finis du comportement électro-thermo-mécanique des bras d'actionnement
Simulation par éléments finis du comportement électro-thermo-mécanique de l'actionneur entier
REALISATIONS TECHNOLOGIQUES
Analyse du problème
Description du procédé d'usinage chimique
Correstions et amélioration de l'usinage
CARACTERISATION DES FILTRES
Caractérisation électro-mécanique
Caractérisation thermique
Conclusion et perspectives
Caractérisation des filtres de Fabry-Perot |
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