Experimental Techniques in Low-Temperature Physics / Guy Kendall WHITE

Titre : Experimental Techniques in Low-Temperature Physics Type de document : texte imprimé Auteurs : Guy Kendall WHITE, Auteur Editeur : Oxford University Press Année de publication : 1959 Importance : 328 p. Note générale : Preface Contents Author index Subject Index Catégories : Basses températures Thermométrie Vide (physique) Index. décimale : 536.4 Effets de la chaleur sur la matière : changements d'états Résumé : GENERAL Production of Low-Temperatures Storage and Transfer of Liquefied Gases Heat Exchangers Temperature Measurement THE RESEARCH CRYOSTAT Introduction to Cryostat Design Heat Transfer Temperature control Adiabatic Demagnetization Vacuum Techniques and Materials PHYSICAL DATA Heat Capacity and Expansion Coefficient Electrical and Thermal Resistivity

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Handbook of Vacuum Science and Technology / Dorothy M. HOFFMAN

Titre : Handbook of Vacuum Science and Technology Type de document : texte imprimé Auteurs : Dorothy M. HOFFMAN, Éditeur scientifique ; Bawa SINGH ; John H. THOMAS Editeur : Academic Press, Inc. Année de publication : 1997 Importance : 835 p. ISBN/ISSN/EAN : 978-0-12-352065-4 Note générale : A short foreword Contents Preface List of contributors Acknowledgments References Index Catégories : Vide (physique) Vide (technologie) Index. décimale : 621.5 Technique pneumatique, du vide, des basses températures

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Les interactions ions énergétiques-solides : Applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces / Aimé RICHARDT

Titre : Les interactions ions énergétiques-solides : Applications aux dépôts, aux modifications de surfaces, et aux gravures de couches minces Type de document : texte imprimé Auteurs : Aimé RICHARDT ; Anne-Marie DURAND Editeur : Editions IN FINE Année de publication : 1997 Importance : 383 p. ISBN/ISSN/EAN : 978-2-84046-047-3 Note générale : Préface Avant-propos Bibliographie Table des matières Catégories : Couches minces Ions Pulvérisation cathodique Surfaces (technologie) Vide (physique) Index. décimale : 620.19 Autres matériaux Résumé : GENERALITES Mécanismes des intéractions ions-solides Les plasmas, les décharges électriques dans les gaz à basses pressions Les couches minces déposées sous vide Les appareils de dépôt de couches minces Aspects pratiques de la pulvérisation Les sources d'ions Utilisation des faisceaux d'ions Dépôts par ion plating Les techniques de dépôts I.C.B. à clusters d'atomes ionisés Les évaporations réactives activées (A.R.E.) Les évaporations assistées par faisceaux d'ions (I.A.D.) Les dépôts par pulvérisation réactive Les techniques de dépôts de couches minces par lasers CW et pulsés APPLICATIONS DE LA PULVERISATION AUX DEPOTS DE MATERIAUX COMPOSES Les dépôts de couches minces de ZnO Les dépôts de sillénites Les dépôts de Perovskite Les dépôts de couches minces supraconductrices. Les couches minces transparentes (ITO) Les dépôts de nitrures, carbures et silicures Les dépôts de couches minces de diamant et de D.L.C. (carbone dur) Les dépôts de séléniures. Les dépôts de couches amorphes Les structures à super réseau Les couches minces organiques Les dépôts sous champs magnétiques intenses Les dopages à basses températures de couches minces semi-conductrices DEPOTS DE COUCHES MINCES PAR PECVD. LA GRAVURE DES COUCHES MINCES. LES SOURCES E.C.R. Les dépôts de couches minces par PECVD Formation de dépôt de couches minces par R.P.E.C.V.D. (Remote PECVD) Les gravures sèches. Principes et généralités. Applications La gravure par R.I.E. (Gravure Ionique Réactive) La gravure réactive par faisceaux d'ions collimatés (I.B.A.E. Ion Beam Assisted Etching) Les gravures et microusinages par faisceaux d'ions Les dépôts et gravures de couches minces par sources d'ions E.C.R. LES PREPARATIONS DE SURFACES PAR PLASMAS Les plasmas Les préparations de surfaces par plasma

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B00004861	620.19 RIC	Ouvrage	BIBLIOTHÈQUE - ACCÈS LIBRE	600 - Sciences appliquées - Technologie	Disponible

La pratique du vide et des dépôts de couches minces / Aimé RICHARDT

Titre : La pratique du vide et des dépôts de couches minces Type de document : texte imprimé Auteurs : Aimé RICHARDT ; Anne-Marie DURAND ; Hubert CURIEN, Préfacier, etc. Editeur : Editions IN FINE Année de publication : 1955 Importance : 423 p. ISBN/ISSN/EAN : 2-86046-038-6 Note générale : Préface Avant-propos Annexes techniques Remerciements Bibliographie Table des matières Catégories : Couches minces Vide (physique) Vide (technologie) Index. décimale : 621.5 Technique pneumatique, du vide, des basses températures Résumé : Les pompes à vide mécaniques, ou pompes primaires Les pompes root Les pompes à diffusion d'huile. Les pompes à éjecteurs Les huiles et graisses pour le vide Accéssoires de pompes primaires et à diffusion, pièges, baffles Les pompes secondaires spéciales La mesure du vide, les jauges à vide La détection des fuites, l'analyse des gaz résiduels Accessoires pour le vide Conception d'un groupe de pompage, éléments technologiques pour sa réalisation Choix d'un groupe de pompage Rappels des divers procédés de dépôts de couches sous vide par PVD La conception des dépots optiques Une comparaison entre l'évaporation et la pulvérisation comme méthodes de dépôts de couches minces optiques. Quelques caractéristiques de la pulvérisation Propriétés mécaniques des couches minces déposées par pulvérisation Les paramètres qui conditionnent la durée de vie d'une couche mince optique Matériaux pour les couches minces optiques Comment choisir des matériaux pour des bades passantes de longueurs d'ondes données Nouveaux matériaux pour les couches minces optiques Techniques et paramètres généraux pour les évaporations de quelques matériaux composés courants Les défauts dans les couches minces : diagnostics et remèdes Dépôts de couches minces diélectriques par LPCVD Préparation des surfaces avant les dépôts Mesures des vitesses et des épaisseurs des dépôts de couches minces Propriétés mécaniques des couches minces Couches minces piézoélectriques et piézorésistives Applications des couches minces diélectriques Autres techniques de dépôts de couches minces Les couches minces auto-supportées Evaporation flash Dépôt de couches dures par pulvérisation Applications des couches minces aux revêtements anti-corrosion, anti-friction, et anti-usure Les couches amorphes, conditions de dépôts. Les couches minces de matériaux organiques Utilisation de certains matériaux inorganiques en couches minces

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Le vide : Les couches minces - Les couches dures / Aimé RICHARDT

Titre : Le vide : Les couches minces - Les couches dures Type de document : texte imprimé Auteurs : Aimé RICHARDT ; Anne-Marie DURAND ; Henri LE GALL, Préfacier, etc. Editeur : Editions IN FINE Année de publication : 1994 Importance : 471 p. ISBN/ISSN/EAN : 978-2-84046-030-5 Note générale : Préface Avant-propos Bibliographie Table des matières Catégories : Chromatographie sur couches minces Couches minces Vide (physique) Index. décimale : 533.5 Vide : technique du vide Résumé : LE VIDE Généralités Production du vide Mesure des faibles pressions Les huiles pour pompes à vide Réalisation d'une installation à vide Généralités sur les technologies de dépôt sous vide Propriétés électriques des couches minces Préparation des surfaces et adhérence des couches L'évaporation sous vide Dépôt de couches minces par pulvérisation (sputtering) Les sources et faisceaux d'ions Dépôts par Ion Plating Dépôts par CVD et PCVD L'implantation ionique Dépôts par clusters ionisés L'épitaxie par jets moléculaires Techniques de dépôt pour applications microélectriques Dépôts de couches diélectriques et optiques assistés par bombardement ionique Caractérisation des couches minces Généralités sur les couches dures L'implantation ionique, son application aux durcissements superficiels Les couches dures de nitrure de titane Les couches dures de carbone (DLC)

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